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表面处理工艺
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电镀金原理

镀金阳极一般采用铂金钛网材料。

当电源加在铂金钛网(阳极)和硅片(阴极)之间时,溶液会产生电流,并形成电场。阳极发生氧化反应释放出电子,同时阴极得到电子发生还原反应。

阴极附近的络合态金离子与电子结合,以金原子的形式沉积在硅片表面。镀液中的络合态金离子在外加电场的作用,向阴极定向移动并补充阴极附近的浓度消耗,为水平杯镀示意图,图2为垂直挂镀示意图。

电镀的主要目的是在硅片上沉积一层致密、均匀、无孔洞、无缝隙、无其它缺陷的金。

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